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エアシャワー
導入： エアシャワーは、クリーンルームへの入室者が持ち込む微粒子汚染物質の量を最小限に抑え、職場の厳格な清浄度基準を達成するために必要な通路です。作業員がエアシャワーを通過する際、微粒子汚染物質は高速の清浄な空気によって吹き飛ばされます。そのため、粉塵が清浄区域に持ち込まれることはありません。
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パスボックス
導入： パスボックスは、クリーンルーム内の異なるクリーンレベルの部屋間で物品を搬送するために使用されます。ドアの開閉回数を減らし、異なる部屋間の空気の対流を防ぎ、汚染範囲を最小限に抑えることができます。
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